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摘 要:柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法属于光电器件制作技术领域。现有物理方法制作成本高。本发明其特征在于:步骤1,配制可旋涂溶胶,在室温及搅拌工艺条件下,在有机溶剂中加入乙酸锌、硝酸锌、单乙醇胺、乙酰丙酮及掺杂物质,其中乙酸锌与硝酸锌的摩尔比为(4.7~5):(2.8~3),掺杂物质的加入量按杂质离子相对于锌离子其摩尔浓度为1~3%而定,至此获得可旋涂溶胶;步骤2,制作溶胶膜,将所述可旋涂溶胶均匀滴加在柔性衬底上,在3000~3500rad/min的速度下旋涂20~30s,在70~90℃温度下加热10~15m,获得溶胶膜;步骤3,形成产物薄膜,将所述溶胶膜在240~260℃温度下退火25~35m,获得柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710281202.1 | 专利名称: | 柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法 |
申请日: | 2017-04-26 | 申请/专利权人 | 长春理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 吉林省长春市朝阳区卫星路7089号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C18/12搜分类 塑料 透明 Zn搜索 |
公开/公告日: | 2019-05-10 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN107034452B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |