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摘 要:用于硅微通道板基体整体氧化防变形约束装置属于光电子器件技术领域。现有技术无法避免硅微通道板基体氧化后发生变形。本发明之防变形约束装置其特征在于,左右两个护板夹持一个保持环,护板、保持环材质均为蓝宝石晶体,护板、保持环均为圆片状,且外径相等,护板中间区域均匀分布有气孔,护板的厚度为2~3mm,保持环的内径为25~30mm、厚度为350~400μm;卧式卡座呈长槽形,在槽内横向间隔分布若干卡槽,卡槽的宽度比左右两个护板以及一个保持环的总厚度大20~30μm;立式压筒的裙部开有条形气孔;卧式卡座、立式压筒的材质均为石英玻璃;两个护板与一个保持环能够落入一个卡槽中,或者由上下两个立式压筒对压固定,此时两个立式压筒裙部相向排布。整体氧化后硅微通道板平面度公差小于10μm。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810076698.3 | 专利名称: | 用于硅微通道板基体整体氧化防变形约束装置 |
申请日: | 2018-01-26 | 申请/专利权人 | 长春理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 吉林省长春市朝阳区卫星路7089号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01J9/12搜分类 硅 微 微生物采样搜索 |
公开/公告日: | 2019-06-18 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108281338B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |