一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法

摘     要：本发明提供了一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法，装置包括ZYGO干涉仪、离轴缩束装调子系统、离轴缩束光学系统、方位俯仰台和基准反射镜；离轴缩束光学系统包括离轴次镜室、离轴次镜、主框架、离轴主镜和离轴主镜室，主框架固定在方位俯仰台上；离轴缩束装调子系统包括侧面工装和正面工装，侧面工装带动正面工装进行平移运动，正面工装带动离轴次镜进行转动、俯仰运动及平移运动；ZYGO干涉仪位于离轴主镜前，基准反射镜位于离轴次镜前，ZYGO干涉仪的出射光与主框架上的入光口重合。本发明解决了传统装调装置和方法难以对离轴光学系统在保证镜室能够安装上主框架的前提下，提升装调效率，批量化生产的问题。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注