咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本发明公开了一种长行程高精度压电位移台及其驱动方法,解决了当前的压电粘滑位移平台存在的行程受限、运动不平稳以及承载能力弱等技术问题。本发明涉及的微位移平台包括固定基座、驱动定子、承载滑块、顶盖、导轨、螺纹副、定子安装螺钉、顶盖安装螺钉和导轨安装螺钉。所述驱动定子利用叠堆型压电陶瓷缓慢伸长带动柔性铰链的变形,通过向叠堆型压电陶瓷通以锯齿波电信号实现承载滑块的持续进给。本发明具有结构简单、稳定性高、行程大、负载能力强等特点,在光学精密仪器、半导体加工等微纳米驱动与定位领域具有很好的应用前景。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810030486.1 | 专利名称: | 长行程高精度压电位移台及其驱动方法 |
申请日: | 2018-01-12 | 申请/专利权人 | 长春工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 吉林省长春市朝阳区延安大街2055号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G12B9/10搜分类 高精度搜索 |
公开/公告日: | 2020-07-24 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108062968B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |