一种N离子掺杂二氧化铈薄膜的制备方法

摘     要：本发明提供了一种N3‑掺杂CeO2薄膜的制备方法，在Ar和N2的混合气氛中，以金属Ce为靶材，经磁控溅射得到CeN薄膜，将制得的CeN薄膜氧化，即得N3‑掺杂CeO2薄膜。本发明同时采用磁控溅射在低温条件下制得了N3‑掺杂CeO2固体氧化物燃料电池电解质薄膜，克服了以往采用化学制备方法需采用高温及有机溶剂造成的环境污染问题，且较传统化学方法具有制备的材料均匀性好、厚度精确可控、与衬底结合牢固、可制备纳米晶薄膜等优点。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2018/10/23	授权
  2017/10/17	实质审查的生效	IPC(主分类): C23C 14/06 专利申请号: 201710427185.8 申请日: 2017.06.08
  2017/09/15	公开