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摘 要:本发明公开一种多曝光散射信号融合的表面粗糙度测量方法由激光器发出的光经过会聚透镜、光阑和会聚透镜后形成会聚光,入射到超光滑光学元件表面,经过样品表面反射后形成反射光,进入CCD,同时,反射光附近区域的散射光也进入CCD,对同一位置处采集不同曝光时间的图像,使远离反射光束和靠近反射光束的地方都具有高的分辨率;通过区域特性量测的融合算法对不同曝光时间的散射分布图像进行融合,形成具有大动态范围的散射分布图像,之后建立了散射分布图像与表面粗糙度之间的关系模型,最后通过计算得到被测表面的粗糙度值。本发明克服了现有技术存在的采集单幅散射图像计算被测表面粗糙度时的对比度较低、图像动态范围小和测量精度不高的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010608326.8 | 专利名称: | 一种多曝光散射信号融合的表面粗糙度测量方法 |
申请日: | 2020-06-29 | 申请/专利权人 | 西安工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市未央区学府中路2号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B11/30搜分类 测量测绘 表 港口搜索 |
公开/公告日: | 2021-11-16 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN111707221B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |