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摘 要:本发明涉及光学测量技术领域,具体涉及一种阵列结构光学元件的面形误差测量方法。用于解决阵列结构光学元件面形的测量和评价问题。本发明采用方法步骤为:1)利用三维表面形貌检测装置对阵列结构光学元件进行检测,获得阵列结构光学元件表面形貌点云数据;2)将测量得到的阵列结构光学元件表面形貌点云数据通过六维自由度的平移旋转,使之与理论设计形状最佳匹配;3)采用最邻近插值算法,使匹配后的测量数据与理论数据的横向坐标完全匹配,然后对纵向坐标进行点对点相减,使之与理论设计形状最佳匹配,即可获得该被测阵列光学元件的面形误差。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202210451951.5 | 专利名称: | 一种阵列结构光学元件的面形误差测量方法 |
申请日: | 2022-04-27 | 申请/专利权人 | 西安工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市未央区学府中路2号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B11/24搜分类 光学仪器 仪器仪表 阵列搜索 |
公开/公告日: | 2023-10-03 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN114858090B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |