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摘 要:本发明涉及一种实现定点去除的聚焦离子束四级栅网系统及其方法。其采用三级球面栅网实现了宽束冷阴极离子源离子束的引出、整形及聚焦,可通过栅网球面半径的尺寸来调节离子束焦点的位置;通过改变栅网上小孔分布图形及尺寸大小来调节束斑和束流大小;加速栅电位调节可有效控制离子运动轨迹,减少离子运动过程中的损失和栅网损耗。本发明可实现对加工表面进行定点去除,将推动国内离子束技术的工程化应用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710377872.3 | 专利名称: | 实现定点去除的聚焦离子束四级栅网系统及其方法 |
申请日: | 2017-05-25 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B1/00搜分类 四 港口搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |