发明专利已授权

用于线锯切割硬脆材料的测温装置及使用方法

📄 申请号：CN201911075495.3 📄 发布日：2025/10/24

著录项目信息

申请日

2019-11-06

公开号

CN110849495B

公开日

2021-04-30

申请人

上海理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01K7_04

IPC 分类号

G01K7_04 , G01K7_02 , G01K1_14 ,

技术画像

所属领域

线锯切割线锯切割温度测量硬脆材料加工

应用场景

半导体晶圆切割, 光伏硅片切割, 硬脆材料精密加工, 线锯切割工艺监控

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摘要

本发明涉及一种用于线锯切割硬脆材料的测温装置及使用方法，采用工件切半加工机构中，附加轴后端卡在与电机相连接的三爪卡盘中，前端固定连接轴座，并使载料盘与附加轴的轴线相互垂直，载料盘上端固定连接垫块，垫块上面用AB胶水粘结工件；采用工件切片加工及测温机构中将由工件切半加工机构切割下来的两个半圆柱工件之间埋上热电偶丝，并用AB胶水将工件粘结在两个垫块上，两个垫块通过载料盘固定连接在附加轴前端，且载料盘与附加轴同轴连接，附加轴中间套接热电偶滑环转子，热电偶丝通过两个垫块之间的缝隙引与热电偶滑环转子的导线连接，热电偶滑环转子的导线通过热电偶滑环定子的导线与热电偶采集仪及电脑连接，用于测出锯切过程中温度的变化。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种铜掺杂石墨烯增强铝基复合材料的制备方法

当前第 / 件

具有凹陷结构的聚苯乙烯-SiO2核壳纳米复合粒子的制备方法

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