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摘 要:本发明公开了一种基于CNTs超表面的THz波传感器,包括衬底,衬底上覆盖有薄膜层,薄膜层上刻蚀有矩形孔阵结构,薄膜层上覆盖有封装层。具有二维周期性对称矩形孔阵结构,结构简单,方便加工;工艺简单,易于实现;用于检测农药残留量,检测方法简单,检测精度高且具有良好的可靠性、稳定性,最低灵敏度为2.0×10‑3/ppm,误差为0.13%。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010436778.2 | 专利名称: | 一种基于CNTs超表面的THz波传感器、制备方法及其用途 |
申请日: | 2020-05-21 | 申请/专利权人 | 西安理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市碑林区金花南路5号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N21/59搜分类 传感器 表 C 港口搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/04/25 | 授权 | |
2020/10/20 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01N 21/59 专利申请号: 202010436778.2 申请日: 2020.05.21 |
2020/09/22 | 公开 |