CNTs超表面与微通道集成的THz传感器及制作方法

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摘     要：本发明公开了一种CNTs超表面与微通道集成的THz传感器，包括自下而上依次贴合设置的衬底层、薄膜层和封装层三层结构，衬底层与薄膜层接触的一面开设有样品池，样品池内底部均匀刻蚀有周期性圆柱状结构，衬底层与薄膜层接触的一面边沿还开设有微流通道，薄膜层上均匀刻蚀有周期性圆孔状结构，周期性圆柱状结构与周期性圆孔状结构呈一一对应关系，封装层开设有测试窗口，本发明还公开了一种CNTs超表面与微通道集成的THz传感器的制作方法。本发明解决了现有技术中存在的单一CNTs薄膜对THz波的响应幅值较低，单一硅材料的品质因子(Q值)较低，且传感器因无样品池而导致溶液的分布不均匀，引起较高的测量误差的问题。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2022/12/06	授权
  2021/03/05	实质审查的生效	IPC(主分类): G01N 21/41 专利申请号: 202011147371.4 申请日: 2020.10.23
  2021/02/12	公开