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摘 要:一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统,包括有可视化箱体;可视化箱体内设有试样放置平台,试样放置平台的一端连接有静电测试平台,试样放置平台的另一端连接有放电平台;将样品放置在铜盘电极上,关闭箱体操作口;通过X轴步进电机控制铜盘电极在X轴导轨上移动,试样移动至钼丝的正下方;利用Y1轴步进电机控制Y1轴导轨上的连接件a在Y1轴导轨上移动,对样品进行放电处理;通过X轴步进电机控制铜盘电极在X轴导轨上移动,将试样移动至静电测量棒的下方;通过Y2轴步进电机控制Y2轴导轨,使连接件b带动静电测量棒沿着Y2轴导轨移动,扫描整个试样的表面,将结果上传至上机位;具有测量效率高、测量时间短,结果准确的特点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011599395.3 | 专利名称: | 一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统 |
申请日: | 2020-12-30 | 申请/专利权人 | 西安理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市金花南路5号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01R29/12搜分类 光学仪器 仪器仪表 干搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |