发明专利 已授权

适用于柔性器件的ITO薄膜及其制备方法

📄 申请号:CN202210025851.6 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2022-01-11
申请人
西安理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

柔性显示, 柔性触控屏, 可穿戴设备, 柔性太阳能电池, 透明电子器件

摘要

本发明公开的适用于柔性器件使用的双面ITO薄膜,步骤1,以纯乙醇、三氯化铟、四氯化锡、乙酸酐为原料配制锡掺杂氧化铟溶胶;步骤2,将聚酰亚胺基板作为镀膜基板采用浸渍提拉法制备ITO镀膜基板;步骤3,将步骤2得到的ITO镀膜基板置于管式炉中于200~350℃氧气气氛中进行热处理,气压0.05~0.5MPa,流量4~20mL/min,保温时间2~5h;步骤4,制备ITO纳米晶薄膜。能够解决现有ITO薄膜不能在低温下进行双面同时镀制的技术难题,而且该方法能够大面积制膜,适合于产业化量产。本发明还公开一种适用于柔性器件使用的双面ITO薄膜。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B05C3_10)

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:78 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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