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摘 要:一种实现表面精细结构的抛光方法,包括以下步骤:(1)向被抛光面供给含有抛光颗粒的抛光液;(2)将脉冲激光器对准扩束器得到扩束后的脉冲激光束;(3)将扩束后的脉冲激光束对准模板上的小孔得到具有特定图案的脉冲激光束;(4)将具有特定图案的脉冲激光束对准聚焦透镜组得到聚焦后的脉冲激光束;聚焦后的脉冲激光束入射到透明导流板,作用于抛光液流层。本发明还提供一种实现表面精细结构的抛光方法的装置。本发明将聚焦透镜将脉冲激光能量汇聚到一个较小的区域,有效圈定需要实现的抛光区域,实现定区域抛光,从而实现对表面具有精细激结构器件的超精密抛光。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202111004439.8 | 专利名称: | 一种实现表面精细结构的抛光方法及装置 |
申请日: | 2021-08-30 | 申请/专利权人 | 浙江工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省杭州市拱墅区潮王路18号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24C1/08搜分类 表 港口搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |