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摘 要:本发明公开了一种基于经纬线的研磨加工轨迹均匀性检测方法,首先在圆形基片上建立经纬线模型,其中包括经线(1、2、…、i、…、n)和纬线(1、2、…、j、…、m);依次计算研磨加工轨迹线通过经线1、经线2…、经线i、…、经线n的次数;分别计算经线1上研磨加工轨迹通过纬线(j?1)和纬线j之间的次数、经线2上研磨加工轨迹通过纬线(j?1)和纬线j之间的次数、经线i上研磨加工轨迹通过纬线(j?1)和纬线j之间的次数(1≤j≤m),以此类推,直至得到经线n上经线i上研磨加工轨迹通过纬线(j?1)和纬线j之间的次数。本发明只需合理设计一定数量的经线和纬线,便可逐一辨识出研磨加工轨迹线的密度分布;本发明能够很好地解决极坐标和笛卡尔坐标评价均匀性方法在圆形基片边缘处测量值失真的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201610141859.3 | 专利名称: | 一种基于经纬线的研磨加工轨迹均匀性检测方法 |
申请日: | 2016-03-11 | 申请/专利权人 | 浙江工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B49/00搜分类 研磨加工 均匀 检测搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2017/11/07 | 授权 | |
2016/08/24 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): B24B 49/00 专利申请号: 201610141859.3 申请日: 2016.03.11 |
2016/07/27 | 公开 |