一种SiC材料化学机械抛光方法

摘     要：一种SiC材料化学机械抛光方法，将SiC材料置于密闭环境中，密闭环境内的气压、温度以及输入气体组份可控，向密闭环境内充入氧化性气体，调节密闭环境内的温度以及氧化气体的分压至高温高压状态；当化学机械抛光过程处于富含高压氧化气体的环境时，氧化气体会大量溶解进入抛光液中，并与碱性抛光液中的OH-一起参与对SiC材料表层的氧化，加速SiC材料表层的氧化速率，碱性抛光液中的O2与SiC材料反应表层生成一薄层SiO2，通过调节环境温度、气体组份、气压和催化剂条件，实现控制抛光过程中SiC材料表面的化学反应速率。本发明提供一种材料去除率较高、过程可控、低成本的SiC材料化学机械抛光方法。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

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