一种高迁移率的n型纳米金刚石薄膜及制备方法

摘     要：本发明提供了一种高迁移率n型纳米金刚石薄膜及制备方法：采用离子注入方法，在纳米金刚石薄膜中注入较低剂量的杂质离子，然后对薄膜进行700~1000℃下真空退火，即得所述n型纳米金刚石薄膜。本发明所述杂质离子在薄膜中的浓度为1015～1017cm-3，纳米金刚石晶粒尺寸为3~6nm，纳米金刚石晶粒中的缺陷浓度约为1010~1012 cm-3；该薄膜为电阻率低、Hall迁移率高的n型纳米金刚石薄膜，对实现纳米金刚石薄膜在半导体器件、场致发射显示器、电化学等领域的应用具有十分重要的科学意义和工程价值。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2015/05/27	授权
  2013/05/29	实质审查的生效	IPC(主分类): C23C 14/48 专利申请号: 201210594869.4 申请日: 2012.12.31
  2013/04/24	公开