咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本发明公开了用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置。现有装置很难保证气室所在环境中温度的均一性。本发明包括支架、翻转机构和传动机构。翻转机构包括外环翻转机构和内环翻转机构。外环翻转机构的外翻转环通过翻转电机带动翻转。翻转电机通过绕动直齿轮、锥形齿轮组带动内环翻转机构的内翻转环相对外翻转环进行翻转。翻转电机带动绕动直齿轮自转,同时绕动直齿轮沿固定直齿轮边沿公转。使用中将碱金属原子气室固定安装在内翻转环上,整体结构置于加热炉中。本发明通过两次齿轮连接,保证内外的两个翻转环相互垂直交错翻转,可以在镀膜气室加热时候提供均匀受热的环境,实现抗弛豫膜的均匀涂覆,保证碱金属原子气室的成膜质量。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010704462.7 | 专利名称: | 用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置 |
申请日: | 2020-07-21 | 申请/专利权人 | 浙江工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省杭州市下城区潮王路18号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C16/455搜分类 其他 加热系统 气 均匀搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |