发明专利已授权

直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台

📄 申请号：CN201410696217.0 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2014-11-26

申请人

广东工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23Q5_28

IPC 分类号

B23Q5_28

技术画像

所属领域

直线电机直线电机精密运动平台运动控制

应用场景

半导体制造设备, 精密加工, 激光加工设备, 精密测量, 电子制造

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摘要

本发明提出直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台，包括基座、直线导轨、滑块、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台，所述宏微一体化平台的外框架安装在直线导轨滑块上，基座上装有U型直线电机定子，宏动平台和微动平台上分别装有动子，当宏微动子同时驱动时，可实现整体大范围的高速运动；当出现运动偏差时，微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出，可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制，可以实现一维高速精密运动，安装使用方式与传统平台一致，方便推广应用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20170510

✅ 授权

20161214

⏳ 著录事项变更：

20150422

?? 实质审查的生效：

20150325

📄 公开

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