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摘 要:本发明涉及一种离子氮化装置,尤其涉及一种渗氮可控的零污染离子氮化装置,其包括炉体、炉底盘、传动系统、可调阴极系统、快速冷却系统、可调阳极系统、零污染气体循环系统;炉体置于炉底盘正上方形成渗氮室;传动系统固定于炉底盘中部;可调阴极系统、快速冷却系统和可调阳极系统置于渗氮室中部;零污染气体循环系统置于炉底盘外下部。本发明解决了传统离子氮化装置的升温慢与降温慢,阴阳极间距不可调,渗氮不可控以及氨气污染的技术问题。本发明涉及的装置也适合材料表面的物理气相沉积及化学气相沉积。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710387990.2 | 专利名称: | 渗氮可控的零污染离子氮化装置 |
申请日: | 2017-05-27 | 申请/专利权人 | 西华大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 四川省成都市金牛区金周路999号西华大学 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C8/36搜分类 污染搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |