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摘 要:本发明公开了平板显示屏玻璃湿化学加工低风速吹扫残液的装置,属于平板玻璃和半导体硅片表面湿化学加工技术领域,该装置在工件的上、下均有设置,其包括端口、入风口、风道和出风口;端口的一端与空气压缩泵相连,在端口的另一端设有入风口,入风口与风道的一端相连,在风道的另一端设有出风口;出风口、风道和入风口相连通。本发明还公开了该装置的应用工艺。本发明能很好地将玻璃片等工件表面的液体去除,可提高蚀刻液等反应溶液的使用寿命;能减少高纯水的消耗,减少清洗污水的产生;出风温度与环境温度之差不大于5℃,即去除了玻璃片表面的化学液体,又不至于由于风温明显升高,干扰表面的化学反应,造成工艺控制的困难,影响制品的质量。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201610454767.0 | 专利名称: | 平板显示屏玻璃湿化学加工低风速吹扫残液的装置及工艺 |
申请日: | 2016-06-21 | 申请/专利权人 | 盐城工学院,苏州新吴光电科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省盐城市希望大道中路1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | F26B15/12搜分类 玻璃 化学化工 显示 工艺 低 港口搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |