基于薄膜体声波谐振器的柔性触觉传感器阵列

摘     要：本发明涉及微电子技术领域，提出一种基于薄膜体声波谐振器的柔性触觉传感器阵列，包括若干个薄膜体声波谐振器、多路复用器、用于测量薄膜体声波谐振器谐振频率的谐振电路以及用于信号采集和分析处理的微处理芯片，其中多个薄膜体声波谐振器阵列分布设置，薄膜体声波谐振器阵列的输出端与多路复用器的输入端连接，多路复用器的输出端与谐振电路的输入端连接，微处理芯片的输入端与多路复用器的输出端和谐振电路的输出端连接。本发明满足柔性触觉传感器对柔韧性的要求，具有高柔韧性、高谐振频率等特点，可应用于以接触的形式检测物体的形状、质地、硬度、温度、力以及振动等物理量的触觉传感器中。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2021/07/13	授权
  2019/03/22	实质审查的生效	IPC(主分类): G01D 5/62 专利申请号: 201811368207.9 申请日: 2018.11.16
  2019/02/26	公开