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摘 要:本实用新型公开了一种IC芯片生产用清洗装置,属于芯片加工技术领域,其包括等离子清洗设备,所述等离子清洗设备的两侧均铰接有密封门,且两个密封门之间均设有触压组件,两个触压组件固定连接在等离子清洗设备内腔的背面,且两个触压组件之间通过管道连通。该IC芯片生产用清洗装置,通过设置触压组件和弹性组件,在进行检修等离子清洗设备时,则打开密封门与触压组件产生分离,此时弹性组件即可产生弹性复位,使得弹性组件带动插头与外界插口分离,此时即可对等离子清洗设备自动断电处理,避免相关人员遗忘导致带电操作发生触电安全事故,而且此方式可以在打开密封门时自动断电,无需单独插拔电源,方便了实际的维修作业。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202320049260.2 | 专利名称: | 一种IC芯片生产用清洗装置 |
申请日: | 2023-01-09 | 申请/专利权人 | 上海瞬雷科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 上海市宝山区逸仙路3000号4幢42055室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B08B7/00搜分类 集成电路 C IC IC芯片搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/09/12 | 授权 |