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摘 要:本发明公开了一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚,包括保温筒顶座和保温筒外壳体,保温筒外壳体的上方设置有保温筒顶座,保温筒顶座的两端设置有固定手环,保温筒顶座的顶端设置有控制阀,控制阀的左下方设置有高温计,控制阀的右下方设置有测压口,控制阀下方位于保温筒顶座的内部设置有联轴器;本发明还公开了一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚的使用方法,该装置解决了原有热场坩埚不具有保温结构导致保温性较差的问题,同时因为增加装置的保温性,还能降低生产过程中的能源消耗问题,而且旋转式加热,不仅受热均匀,同时也减少物耗能耗,可以降低产品的生产成本,从而提高竞争力。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910897891.8 | 专利名称: | 一种多晶硅用具有保温结构的生产设备及其使用方法 |
申请日: | 2019-09-23 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B28/06搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
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日期 | 法律信息 | 备注 |