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摘 要:本实用新型涉及晶圆加工技术领域,且公开了一种晶圆加工用甩干装置,包括机体,所述机体内部放置有多个支撑框,多个支撑框之间均固定连接有连接块,多个支撑框的内部均开设有滑动槽,多个滑动槽的内部均滑动连接有滑动板,每组滑动板相互靠近的一侧面均开设有卡槽,每组固定板相互远离的一侧面均固定连接有推杆。该晶圆加工用甩干装置,通过转动转动框能够使多个顶块与滑动球的配合下使多个滑动板相互靠近,使其内部的晶圆能够卡入卡槽内,对晶圆进行固定,避免晶圆受离心力的影响而发生偏移,提高晶圆的稳定性,解决了晶圆可能会受离心力的影响而发生偏移的问题,同时多个固定板能够具备对不同直径的晶圆进行固定的能力。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202223137203.4 | 专利名称: | 一种晶圆加工用甩干装置 |
申请日: | 2022-11-24 | 申请/专利权人 | 张晓立 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 广东省广州市花都区秀全街溪秀路6号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | F26B5/08搜分类 半导体 干搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/09/01 | 授权 |