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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202021917671.1 | 专利名称: | 一种芯片制造氧化设备的导流板 |
申请日: | 2020-09-05 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | H01L21/67 分类检索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
浏览量: | 85 | 所属领域: | 集成电路 导流板专利转让搜索 |
摘 要:本实用新型公开了一种芯片制造氧化设备的导流板,包括底板和顶板,所述底板上固定有四个立筒,所述立筒内均滑动套接有滑动柱,所述滑动柱固定连接有支撑板、且固定在支撑板的底部,所述底板的中心位置处固定有液压缸,所述液压缸的输出轴固定在支撑板的底部,所述支撑板上方安装有端部安装组件和侧边安装组件,所述端部安装组件和侧边安装组件组合固定有导流板,所述顶板底部通过连接架悬挂有芯片,所述芯片位于导流板的上方。本实用新型操作简单、便于更换导流板、有效的控制了气流流过导流板时的大小。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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