一种自驱动湿度传感器及其制备方法

摘     要：本发明公开了一种自驱动湿度传感器及其制备方法，该自驱动湿度传感器包括半导体基底，半导体基底的正面刻蚀有纳米结构，半导体基底的正面围绕纳米结构制备有介电层，介电层上制备有悬浮电极，悬浮电极与纳米结构之间设有间隙，悬浮电极上位于所述纳米结构上方刻蚀有孔道结构，半导体基底的背面制备有底电极，底电极和悬浮电极上均连接有导线。本发明的湿度传感器无需额外电源，可实现湿度相关电信号的直接输出。本发明湿度传感器的自驱动特性使得该传感器对湿度的响应速度很快，达到毫秒级别。本发明的湿度传感器结构简单，有利于降低生产成本，且与传统半导体工艺相兼容，有利于产品集成。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2022/04/05	授权
  2021/09/14	实质审查的生效	IPC(主分类): G01N 27/00 专利申请号: 202110730961.8 申请日: 2021.06.29
  2021/08/27	公开