鳍式碳纳米管场效应晶体管及其制备方法

摘     要：本发明公开了一种鳍式碳纳米管场效应晶体管及其制备方法，所述场效应晶体管包括基底、位于基底上的源极和漏极、及位于基底上源极和漏极之间的栅极，所述源极、漏极和栅极上并排黏着有若干用作场效应晶体管导电沟槽的碳纳米管，所述碳纳米管呈三维鳍式设置。本发明将晶体管的源极、漏极和栅极设计为立式电极结构，节省了基底的平面面积，缩小了晶体管尺寸，增加了芯片上晶体管的数量，能够提高芯片的性能；采用多根碳纳米管作为导电沟槽，能够获得比单根碳纳米管更高的电流密度，提高了晶体管的性能。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2018/06/22	授权
  2016/06/01	实质审查的生效	IPC(主分类): H01L 51/05 专利申请号: 201610073835.9 申请日: 2016.02.03
  2016/05/04	公开