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摘 要:本实用新型涉及半导体蚀刻机技术领域,具体为一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,包括机体和鼓风机,所述机体的一侧固定连接有吸风机构,所述收集仓一端的表面安装有鼓风机,所述收集仓另一侧的表面开设有出灰口,所述收集仓的一侧设置有第一连通管,所述第一连通管另一侧的两端皆安装有吸风管件,所述吸风管件的表面均匀开设有吸风口。本实用新型用户仅需要简单的将鼓风机开启,则可快速的对外界灰尘进行吸收,该装置对按钮起到一定的防护效果,避免传统装置按钮直接暴露在外界,用户在需要对装置进行正常开启时,直接对按钮进行按动,用户直接按动按钮,长时间操作易对按钮造成一定的损坏。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202021805215.8 | 专利名称: | 一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置 |
申请日: | 2020-08-26 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B08B15/04搜分类 半导体 蚀刻搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |