发明专利已授权

一种高速低成本光谱共焦位移测量方法及装置

📄 申请号：CN202110355600.X 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2021-04-01

公开号

CN113074644B

公开日

2022-11-01

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_02

IPC 分类号

G01B11_02

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

工业自动化, 半导体制造, 精密机械加工, 表面形貌测量, 在线质量检测

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摘要

本发明公开了一种高速低成本光谱共焦位移测量方法及装置，装置包括控制器、照明模块、Y型光纤、探测模块、色散镜头、待测元件、标定模块；照明模块电动控制多组LED，提供覆盖全部可见光波段的光源；光源耦合入Y型光纤，出射光进入色散镜头被聚焦至待测元件表面，波长不同时聚焦光点位置不同，待测元件表面反射光返回Y型光纤；探测模块测量待测元件表面上时反射光光强；标定模块用于标定色散镜头位置与探测模块模拟电压信号之间的关系；控制器根据不同LED照明时的光强数据计算聚焦光点波长及其对应的待测元件表面位置信息。本发明通过使用多波长光源照明及高速点探测器方法，克服了传统光谱共焦技术使用光谱仪速度慢且成本高的缺陷。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221101

✅ 授权

20210723

?? 实质审查的生效：

20210706

📄 公开

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：11 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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