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专利详情
实用新型
已授权
一种大范围键合金丝参数测量装置
📄 申请号:CN202221030891.1
📄 发布日:2025/12/23
著录项目信息
申请日
2022-04-29
申请人
南京信息工程大学
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
G01B11_00
IPC 分类号
技术画像
所属领域
测量装置
引线键合技术
金丝参数检测
电子封装测试
测量装置
应用场景
半导体封装, 集成电路制造, 引线键合工艺, 电子元器件检测, 封装质量检测
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摘要
本实用新型公开了一种大范围键合金丝参数测量装置,包括测量装置本体,所述测量装置本体设有CCD相机,所述CCD相机可拆卸地连接有远心镜头,所述远心镜头底端固定安装有小景深物镜,所述远心镜头一侧固定连接有高度调节装置,所述高度调节装置通过固定螺丝固定连接有支撑柱,所述支撑柱固定连接有底座;所述底座远离支撑柱的一侧固定安装有升降台,所述升降台上方固定安装有XY轴滑动装置,所述XY轴滑动装置上方固定连接有载物台,所述载物台顶部设有键合模型。本实用新型解决了传统的键合金丝参数测量装置测量范围小和测量精度低的问题,设计了一种大范围键合金丝参数测量装置。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种手动玻璃板可翻转窗户
当前第 / 件
一种电器识别装置
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