一种同时测量多层膜厚和折射率的测量系统

摘     要：本实用新型公开一种同时测量多层膜厚和折射率的测量系统，包括激光发射器，通过分束器将激光分成两条光束，以不同入射角入射到多层膜样品上，再用两个电荷耦合器分别接收多层膜样品上下表面反射的激光束，最后通过处理设备处理数字图像，获得多层膜样品每层的厚度和折射率；所述两条光束中的一条光束通过第一反射镜反射到第一凸透镜进行激光束整形后再由第一反射镜入射到多层膜样品上；所述两条光束的另外一条光束直接经过第二凸透镜进行激光束整形，然后通过第二反射镜入射到多层膜样品上。本实用新型通过非接触式测量，不会对被测样品产生不良影响，提出的测量系统结构简单，易于制造，并且能同时测量多层样品的厚度与折射率，使用范围广。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注