发明专利已授权

一种薄膜剖面图像的膜厚采集方法

📄 申请号：CN201910845717.9 📄 发布日：2026/06/15

著录项目信息

申请日

2017-05-28

申请人

中国计量大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B29D7_01

IPC 分类号

技术画像

所属领域

图像识别图像识别膜厚测量图像处理

应用场景

半导体制造, 薄膜材料检测, 工业质检, 精密测量

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摘要

本发明公开了一种薄膜剖面图像的膜厚采集方法，基于薄膜测厚仪输出用以显示被检测薄膜的横向剖面厚度图像，先根据区域特征获取含有目标曲线的ROI区域，在灰度化和滤波处理后，根据颜色分量和坐标特征获取该区域内的非连续膜厚曲线图像和辅助点阵图像；然后，对二副图像分别进行Otsu阈值分割和双阈值分割后得到二值图像，并将结果相合并生成一条连续完整且无交叉的膜厚曲线图像；最后，基于所获取的基准厚度值、坐标刻度值、厚度平均值，对所生成膜厚曲线上每个点，将其在图像中的像素坐标变换为所对应的厚度值。本发明通过对薄膜剖面图像的处理，能准确获取薄膜剖面各点的厚度值，从而为薄膜横、纵向厚度的一致性控制提供了基础。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种BOPP薄膜厚度模糊控制系统

当前第 / 件

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