发明专利 已授权

半导体加工的具有铁屑清理功能的加工装置

📄 申请号:CN202111535932.2 📄 发布日:2026/06/16

著录项目信息

申请日
2021-12-15
申请人
智研信息科技(临沂)有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体加工, 晶圆制造, 精密机械加工, 芯片封装

摘要

本发明涉及半导体加工技术领域,具体的说是半导体加工的具有铁屑清理功能的加工装置,包括编织结构,所述编织结构连接有用于运输半导体器件的运输结构,所述编织结构连接有用于对运输结构上的铁屑进行清除的清理结构,所述清理结构连接有收集结构,所述清理结构上连接有刮蹭结构,所述清理结构安装有用于对半导体器件进行表面铁屑清理的触动结构;通过编织结构能够将半导体器件进行自动纠编,通过运输结构方便对半导体器件快速运输编织加工,通过清理结构能够对掉落在编织结构上的铁屑进行清理,并通过收集结构进行集中收集,通过刮蹭结构能够更好的快速将清理结构上的铁屑进行清理,通过触动结构能够使运输结构上的铁屑与编织结构脱离。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

20230411
✅ 授权
20230404
⏳ 专利申请权的转移 :
20220408
?? 实质审查的生效 :
20220308
📄 公开

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议价
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