发明专利已授权

基于高频数字信号边沿锁定的激光外差干涉信号处理方法

📄 申请号：CN201310008466.1 📄 发布日：2025/09/15

著录项目信息

申请日

2013-01-09

公开号

CN103075968B

公开日

2015-05-20

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_02

IPC 分类号

G01B11_02 , G01P3_36 ,

技术画像

所属领域

激光外差干涉数字信号处理激光干涉测量光电检测技术激光外差干涉

应用场景

精密测量, 半导体制造, 超精密加工, 计量校准, 科研仪器

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摘要

本发明公开了一种基于高频数字信号边沿锁定的激光外差干涉信号处理方法。激光外差干涉仪的参考信号和测量信号经各自的光电探测器、信号放大器、滤波电路、电压比较器和高频数字边沿锁定模块处理后，送入脉冲计数同步锁存处理模块，得到参考信号和测量信号的整周期干涉条纹数和一个干涉条纹周期内的填脉冲数，经串口通信模块送至计算机，得到被测对象的位移和速度；采用高频数字脉冲信号对激光外差干涉信号的上升沿进行锁定处理，可以提高干涉信号上升沿的陡度和消除噪声干扰引起的错误脉冲，不会改变信号的周期，不存在信号上升沿的相位延迟，提高了后续信号处理的准确性和稳定性。本发明适用于各种干涉测量技术，可以显著提高测量精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20150520

✅ 授权

20130605

?? 实质审查的生效：

20130501

📄 公开

一种超顺磁羧化壳聚糖/FeO颗粒纳米聚集体的制备方法

当前第 / 件

基于双频正交线偏振光干涉的空气折射率测量方法及装置

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