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| 专利/申请号： | CN202010554665.2 | 专利名称： | 双相位测量式激光干涉直线度及位移同时测量装置和方法 |
| 申请日： | 2020-06-17 | 申请/专利权人 | 浙江理工大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 浙江省杭州市江干经济开发区2号大街928号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G01B11/02 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 6 | 所属领域： | 激光专利转让搜索 |
应用场景：数控机床导轨精度校准;半导体设备运动平台定位补偿;精密光学元件组装对准;航空航天部件形位公差检测;自动化产线工件在线质检
摘 要：本发明公开了一种双相位测量式激光干涉直线度及位移同时测量装置和方法。包含具有拍频信号输出的双频激光器和以渥拉斯顿棱镜和半透射半反射平面镜组合为测量镜的测量单元，直线度误差及位移分别采用双相位测量模式，每种相位测量模式用两个光电探测器测量，四路测量信号与双频激光器输出的参考信号一起经信号处理板和计算机处理后，同时得到被测物体的直线度误差及位移。本发明通过半透射半反射平面镜和渥拉斯顿棱镜的组合，采用双相位测量以及双正交锁相放大信号处理方法，对直线度误差及位移测量的非线性误差进行了补偿，提高了直线度误差及位移测量精度和稳定性。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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