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摘 要:本实用新型公开的属于切口检测技术领域,具体为一种晶圆切割切口检测设备,包括放置台,还包括与放置台连接的用于对晶圆的切口进行扫描的扫描检测结构;扫描检测结构包括:安装与放置台顶端用于放置待扫描的晶圆地放置组件;安装与放置台上方的用于扫描晶圆的3D扫描仪;及用于减少外壁光源影响扫描效果的隔绝组件,本实用新型打开D扫描仪,电机通过联轴器、减速机、转轴从而带动D扫描仪进行角度调节,对晶圆进行扫描,将扫描后的数据传输至成像的电脑上,观察切口,提高检测精度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202222355194.X | 专利名称: | 一种晶圆切割切口检测设备 |
申请日: | 2022-09-06 | 申请/专利权人 | 苏州浦丰鑫电子科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市苏州高新区泰山路向街19号厂区二楼东南侧 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N21/95搜分类 半导体 检测技术搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/05/23 | 授权 |