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摘 要:本实用新型公开了一种膜厚均匀的溅射镀膜机,包括:溅射镀膜机本体、马达和微型伺服电机,所述溅射镀膜机本体的左端固定安装有真空泵,所述溅射镀膜机本体的内端滑动安装有底座,所述底座的上端转动安装有靶材,所述靶材的内端设置有磁条,所述马达固定安装在溅射镀膜机本体的下端,所述马达的输出端固定安装有支撑杆,所述支撑杆的上端固定安装有安装板,所述马达的输出端固定安装有齿轮,所述齿轮的外端啮合连接有链条,所述微型伺服电机固定安装在安装板的上端,所述微型伺服电机的输出端固定安装有螺纹丝杆。该膜厚均匀的溅射镀膜机,方便对镀膜零件进行限位,安拆方便快捷,方便均匀镀膜,材料可被均匀利用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202222548765.1 | 专利名称: | 一种膜厚均匀的溅射镀膜机 |
申请日: | 2022-09-27 | 申请/专利权人 | 赛福仪器承德有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 河北省承德市平泉市南五十家子镇通航路6号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/35搜分类 均匀 镀膜机搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/02/17 | 授权 |