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摘 要:本发明公开了一种微波真空电子器件用阴极的复式表面处理方法,包括以下步骤:(1)将阴极进行湿法处理;(2)将湿法处理完成后的阴极进行干燥处理;(3)将干燥后的阴极置入高温炉中进行净化还原退火处理;(4)将退火处理后的阴极进行等离子蚀刻;本发明采用湿法去除阴极表面的残盐,阴极的蒸发速率相比于传统工艺方法降低一倍,等离子刻蚀去掉阴极表面的氧化物以及表面形变层,制备了表面洁净且曲率尺寸无变化的阴极表面,提高阴极寿命及抗中毒性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201911254630.0 | 专利名称: | 一种微波真空电子器件用阴极的复式表面处理方法【特价有报项目】 |
申请日: | 2019-12-10 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01J9/02搜分类 电子 报警器 金属表面处理 微 器件 阴极搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |