实用新型已授权

一种单片式晶圆清洗设备

📄 申请号：CN202222616756.1 📄 发布日：2025/10/15

著录项目信息

申请日

2022-10-02

申请人

西安共进光电技术有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B3_02

IPC 分类号

B08B3_02 , B08B13_00 , H01L21_687 ,

技术画像

所属领域

晶圆清洗设备晶圆清洗设备半导体制造设备湿法清洗工艺

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 晶圆表面清洗, 芯片制造, 先进封装

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摘要

本实用新型涉及晶圆清洗设备技术领域，具体涉及一种单片式晶圆清洗设备，包括壳体，所述壳体的外壁前端铰接有箱门，所述箱门的内壁中心处固定有隔板，所述隔板的外壁顶端设置有清洗组件，所述清洗组件包括清洗台、夹持部件和排水部件，所述清洗台的外壁底端与隔板的外壁顶端固定连接，通过上述方式可知本实用新型中能够通过设置的驱动电机驱动左夹持架和晶圆进行转动，使得工人在晶圆清洗好一个端面后不需要将其取下才能进行翻转，进而能够免去工人取下晶圆再进行翻转的步骤，从而能对晶圆的清洗效率做进一步提高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230113

✅ 授权

一种辅助手机贴膜装置

当前第 / 件

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：59 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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