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摘 要:一种非接触光学元件表面面形测量装置,包括上位机、电子控制模块、探头支撑结构、光学探头、待测元件、元件夹持装置、Z轴电动平移台、千分表及XY轴电动平移台。光学探头向待测元件表面投影聚焦光点,光点反射回物镜后通过三孔光阑形成三孔亮斑。由于亮斑之间距离与光点高度位置有关,因此实时采集图像计算亮斑之间距离可获得表面厚度。为了增加高度测量范围,使用Z轴电动平移台上下移动待测元件并使用千分表测量元件位置。相比传统的接触式面形测量系统,本实用新型具有非接触的优点,可避免影响元件表面并同时获得大测量范围及高精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
著 录 项:
专利/申请号: | CN201920482591.9 | 专利名称: | 一种非接触光学元件表面面形测量装置(双报) |
申请日: | 2019-04-11 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B11/00搜分类 光学仪器 测量测绘 智能仪器仪表搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |