发明专利 已授权

一种尖晶石型Co1-xMnxFe2O4铁磁性薄膜及其制备方法

📄 申请号:CN201610187623.3 📄 发布日:2026/05/22

著录项目信息

申请日
2016-03-29
申请人
陕西科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

磁记录介质, 磁传感器, 自旋电子学器件, 微波吸收材料

摘要

本发明提供了一种尖晶石型Co1‑xMnxFe2O4铁磁性薄膜及其制备方法,包括以下步骤:将硝酸钴、醋酸锰和硝酸铁按摩尔比为1‑x:x:2(x=0.1~0.5)溶于乙二醇甲醚和醋酸酐中,搅拌得到Co1‑xMnxFe2O4前驱液,用旋涂法和逐层退火的工艺在基片上制备出致密度高晶粒尺寸均匀的沿(311)晶面择优取向生长的尖晶石型Co1‑xMnxFe2O4铁磁性薄膜。本发明采用溶胶凝胶工艺,设备要求简单,实验条件容易达到,适宜大面积成膜,且化学组分精确可控,并且可通过Mn元素掺杂量对Co1‑xMnxFe2O4铁磁性薄膜的铁磁性能进行调控。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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