一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜及其制备方法

摘     要：本发明涉及一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜及其制备方法，先将干净的基片安装在磁控溅射仪的样品台，将CoTiO3靶和TiO2靶分别安装在磁控溅射仪的两个射频靶位上；对磁控溅射仪的溅射镀膜室抽真空再通入惰性气体，并使溅射镀膜室的气体压强保持在0.1Pa～2Pa；CoTiO3靶预溅射5～15min；将基片升温至300℃～600℃并保温，CoTiO3靶开始溅射30min～90min，得到CoTiO3有序纳米晶薄膜；调节CoTiO3有序纳米晶薄膜和TiO2靶材相互平行，TiO2靶材溅射10s～120s，得到核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜。本发明可有效地调控薄膜的形貌，成膜性好，操作方便，生产周期短，效率高，适于工业生产。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2019/03/26	授权
  2017/11/28	实质审查的生效	IPC(主分类): C23C 14/35 专利申请号: 201710482083.6 申请日: 2017.06.22
  2017/11/03	公开