一种 CoTiO₃ 纳米阵列湿敏薄膜制备方法

摘     要：一种CoTiO3纳米阵列湿敏薄膜制备方法，向氯化钴水溶液中加入TiCl3的盐酸溶液，得到混合溶液A；调节混合溶液A的pH值至6-10，获得前驱体溶液B；将前驱体溶液B移入水热反应釜中，然后将清洗过的硅基片浸入其中反应，接着将硅基片冲洗干净，在硅基片上得到薄膜C；将带有薄膜C的硅基片装于磁控溅射仪的样品台，采用Co2O3射频靶和TiO2射频靶进行磁控溅射，以在硅基片上形成薄膜D；将带有薄膜D的硅基片在600℃-750℃保温，得到CoTiO3纳米阵列湿敏薄膜。该方法能够有效地调控薄膜的形貌，成膜性好，操作方便，生产周期短，效率高，适于工业生产，所制得的CoTiO3薄膜在室温下表现出优异的湿敏性，且响应恢复时间短。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2017/05/31	授权
  2015/05/27	实质审查的生效	IPC(主分类): C23C 14/35 专利申请号: 201410850475.X 申请日: 2014.12.31
  2015/04/29	公布	公布