一种透明薄膜厚度测量系统以及方法

摘     要：本发明涉及光电技术领域，尤其是涉及一种透明薄膜厚度测量系统以及方法。该测量系统包括：信号发送镜筒和信号接收镜筒；所述信号发送镜筒自右向左依次设置有色散汇聚物镜组、分光镜、扩束镜组、准直透镜组、三角棱镜组、数字微镜器件，在所述信号发送镜筒对应所述三角棱镜组的侧壁上设置有白光光源，在所述信号发送镜筒对应所述分光镜的侧壁上连接有所述信号接收镜筒，所述信号接收镜筒自下而上依次设置有色散棱镜、汇聚目镜和视觉传感器。本发明的这种基于不同波长光的汇聚的离散性和色散性结合数字微镜技术实现透明薄膜的厚度快速高精度测量传感技术，有效利用了光波长稳定性，消除了环境的影响，有效提高了测量精度。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2020/05/22	授权
  2018/04/20	实质审查的生效	IPC(主分类): G01B 11/06 专利申请号: 201711053841.9 申请日: 2017.10.31
  2018/03/27	公开