发明专利 已授权

一种独立式多源共聚焦超声雾化热解喷涂反应室

📄 申请号:CN201510500405.6 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2015-08-14
公开号
CN105057154A
公开日
2015-11-18
申请人
重庆理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

所属领域

应用场景

薄膜制备, 纳米材料合成, 表面涂层, 太阳能电池, 功能材料制备

摘要

本发明公开一种独立式多源共聚焦超声雾化热解喷涂反应室,样品载台设在反应室内;样品载台上方设有一个加热体外壳,在加热体外壳内设有加热体,雾化源的数目至少为两个,这些雾化源之间相互独立,并沿反应室的周向布置,每个雾化源上部的喷雾口分别连接有一根喷雾管;所有喷雾管的上部均朝向反应室的轴心线,并与反应室的轴心线形成喷雾角α;所有喷雾管上端的喷口处分别设有一块挡板,挡板可遮挡或敞开喷雾管上端的喷雾口。本发明可得到所需成分的薄膜,从而克服了传统结构导致交叉污染的缺陷;本发明通过抽尾气罩罩住样品载台附近的高温反应尾气,本发明能通过热反射罩实现热反射,并通过水冷热屏蔽板进一步实现冷却。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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……

图1
图2
图3

法律状态时间线

20170616
✅ 授权
20151216
?? 实质审查的生效 :
20151118
📄 公开

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