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摘 要:本发明公开一种高效热电转换特性的ZnSb基薄膜及其制备方法,方法包括步骤:采用等离子束,对原ZnSb基薄膜进行轰击,通过控制等离子束轰击参量,得到高效热电转换特性的ZnSb基薄膜。本发明采用等离子束轰击薄膜,代替传统的热处理工艺,不仅能够保证薄膜关键元素的化学成分,同时可以对ZnSb基薄膜的微结构进行控制,通过有效的薄膜结构优化,以此提高ZnSb基薄膜的热电特性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710018323.7 | 专利名称: | 一种高效热电转换特性的ZnSb基薄膜及其制备方法 |
申请日: | 2017-01-11 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/18搜分类 发电 塑料 热电转换 Zn 高效搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |