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摘 要:本发明公开了一种柱形体侧柱面镀膜装置及真空镀膜设备,该柱形体侧柱面镀膜装置包括组合架、用于把组合架安装在真空镀膜设备上的固定支撑轴、用于与真空镀膜设备的水平旋转机构连接的衔接件、传动轴、转动轴和用于将水平旋转机构的水平旋转转换成转动轴的自转的换向单元;传动轴的第一端通过衔接件与水平旋转机构连接;传动轴的第二端通过换向单元与转动轴连接转;转动轴安装在组合架上且其内部可用于放柱形体样品;转动轴的侧柱面上的开口与需要镀膜的部分对应设置。本发明通过换向单元将水平旋转机构的水平旋转转换成转动轴的自转,使得柱形体侧柱面镀膜旋转更加稳定,保证了同一横截面薄膜的均匀性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201310382134.X | 专利名称: | 一种柱形体侧柱面镀膜装置及真空镀膜设备 |
申请日: | 2013-08-28 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/24搜分类 真空镀 镀膜设备搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2015/12/23 | 授权 | |
2014/01/15 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 14/24 专利申请号: 201310382134.X 申请日: 2013.08.28 |
2013/12/18 | 公开 |