一种ZnSnN2薄膜及其制备方法

著 录 项 目：

摘     要：本发明公开了一种ZnSnN2薄膜及其制备方法，其中，所述方法包括步骤：在流动的氮气及氩气气氛中，将金属锌经射频溅射并将金属锡经直流溅射，通过共溅射法沉积在衬底上，即得到ZnSnN2薄膜。本发明解决了现有方法制备的ZnSnN2薄膜载流子迁移率不高的问题。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注

• 申请号	专利名称	发布日期
  2023215191519	【实用新型】一种金属化薄膜制造真空蒸镀装置	2025/07/29
  2023211749155	【实用新型】一种金属化薄膜加工用真空镀膜机	2025/07/29
  2023215975189	【实用新型】一种多色真空镀膜设备	2025/07/25
  2024213829746	【实用新型】一种具有防雾及杀菌消毒功能的眼镜片镀膜装置	2025/07/23
  2024212644827	【实用新型】一种镜片真空镀膜机用旋转台	2025/07/23
  2024211937731	【实用新型】一种便于观察镀膜状态的眼镜片镀膜装置	2025/07/23
  2024211944415	【实用新型】一种玻璃镜片真空镀膜机用充气装置	2025/07/23
  2024211943499	【实用新型】一种除雾眼镜片镀膜用夹持装置	2025/07/23
  2021206212837	【实用新型】一种用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备	2025/07/21
  2021206510272	【实用新型】一种带深冷主辊的卷绕式真空镀膜机	2025/08/08