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摘 要:本发明涉及气敏材料领域,尤其涉及一种Pd纳米颗粒表面修饰ZnO纳米线气敏材料的制备方法。该方法主要包括以下步骤:用电阻式热蒸发的方法在SiO2/Si衬底上沉积一层Au膜;用化学气相沉积的方法在所述Au膜上生长ZnO纳米线,得到ZnO纳米线阵列;用物理气相沉积的方法在所述ZnO纳米线的表面包覆一层Pd膜,得到包覆有Pd膜的ZnO纳米线阵列样品;将包覆有Pd膜的所述ZnO纳米线阵列样品放置在高温管式炉中进行高温退火,得到Pd纳米颗粒表面修饰ZnO纳米线气敏材料。与传统的化学方法相比,该方法制备得到的样品Pd纳米颗粒粒径均一、数量多且制备可控。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710006941.X | 专利名称: | 一种Pd纳米颗粒表面修饰ZnO纳米线气敏材料的制备方法 |
申请日: | 2017-01-05 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/16搜分类 纳米材料 气 表 纳米线 P 纳米颗粒 Zn搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |